Heizlampe für Interposer mit Infrarotstrahlung

Wed, 01 Jul 2026 13:40:29 +0800

In der Fertigungshalle reicht bereits eine Temperaturverschiebung von 0,1 °C während des Trocknungsprozesses des Photoresists aus, um ganze Chargen von 300-mm-Wafern unbrauchbar zu machen. Die Infrarotlampen zur Erwärmung des Interposers dienen dazu, diese Temperaturverschiebungen bereits im Vorfeld zu verhindern.

Das technische Herzstück dieser Lösung sind die Kurzwellen-Infrarotemitter mit schnell reagierenden Quarzelementen. Dadurch entsteht eine schnelle, lokalisierte Wärmeabgabe. Die Homogenität der Temperatur auf der Oberfläche des Interposers liegt bei ±0,1 °C – die Temperaturgenauigkeit bleibt somit innerhalb eines engen Rahmens. Die maximale Wellenlänge wird so gewählt, dass die Energie genau dort ankommt, wo sie benötigt wird – also in der Schicht des Photoresists – ohne dass die darunterliegenden Materialien beschädigt werden. Die Lampen arbeiten 24/7, erzeugen keine Partikel und sorgen für eine saubere Umgebung von Klasse 1 bis 100.

Technische Unterstützung bei der Erwärmung von Wafern

Tue, 23 Jun 2026 01:09:01 +0800

Auf dem Produktionsboden ist die Situation klar: Selbst eine leichte Temperaturänderung von nur einem halben Grad kann dazu führen, dass die Bedingungen für die Produktion nicht mehr erfüllt werden. Wenn man bei der Erhitzung der Wafer etwas zu hohe Temperaturen verwendet, werden gute Produkte zu Schrott – noch bevor man sie überhaupt als fertig betrachten kann. Die Heizsysteme müssen in der heißen Umgebung zuverlässig funktionieren – es darf keine Unregelmäßigkeiten geben, sondern nur eine präzise thermische Steuerung. Dabei muss die Luftqualität im Reinraum weiterhin optimal bleiben.

Heizen on Quality IR Heating Lamps

Heizlampe für Interposer mit Infrarotstrahlung

Technische Unterstützung bei der Erwärmung von Wafern