http://lamp-ir.com/de/tags/lithografie/ Recent content in Lithografie on Quality IR Heating Lamps Hugo de Tue, 09 Jun 2026 04:03:44 +0800 http://lamp-ir.com/de/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Tue, 09 Jun 2026 04:03:44 +0800 http://lamp-ir.com/de/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Lithographie Weichback Heizelement"></p> <p>On der Fertigungslinie ist die Temperaturstabilität beim Soft Bake keine Frage des Komforts – sie markiert die Grenze zwischen der Einhaltung kritischer Dimensionen und dem Verlust ganzer Wafer als Ausschuss. Eine Drift von 1,5°C eliminiert die Toleranz bei der Photoresist-Profilierung, und jede Partikelbildung während des Bake-Prozesses kontaminiert die nächste Schicht. Wir haben das Heizsystem für den lithografischen Soft Bake so ausgelegt, dass diese Fehlerquellen direkt an der Ursache beseitigt werden.</p> <p>Im Kern befindet sich eine kurzwellige Infrarot-(SWIR)-Halogenlampe in einer <a href="https://o-yate.com">Quarzh</a>ülle, die eine schnelle und direkte thermische Kopplung direkt in den Resist ermöglicht. Über die Bake-Zone bleibt die Wafer-gleichmäßigkeit bei ±0,1°C, und der Temperaturanstieg stabilisiert sich schnell genug, sodass keine Zeit im Trackzyklus verloren geht.</p>