R7s Infrarot Heizglühbirne für Fabrikation

Fri, 26 Jun 2026 05:46:09 +0800

In der Fertigungshalle ist das thermische Budget des Fotoleiters etwas, worüber man nicht verhandeln kann. Eine Abweichung von nur einem Grad während des Weichbrennvorgangs reicht aus, um die Kontrolle über die entscheidenden Dimensionen zu stören – und damit auch die Produktqualität. Die Infrarotheizbirne R7s wurde entwickelt, um solche Abweichungen von vornherein zu verhindern.

Was wirklich wichtig ist
Die R7s strahlt kurzwelliges Infrarotlicht auf die Wafer ab und reagiert dabei schnell – dadurch wird die Temperatur innerhalb von Sekunden stabilisiert. Dadurch entsteht eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der gesamten Oberfläche der Wafer, mit einer Genauigkeit von ±0,1°C. Zudem bleibt die Einstellung der Temperatur bei jedem Durchlauf konstant. Die Birne funktioniert auch in Umgebungen der Klassen 1–100 einwandfrei, ohne dass es zu Partikelbildung kommt – somit kommt es nicht zu Verunreinigungen während des Lithografie- oder Ätzvorgangs. Dank des Quarzkörpers sowie der standardisierten Bauweise der R7s lässt sich die Birne leicht in bestehende Systeme integrieren. Das thermische Profil bleibt auch bei kontinuierlicher Betriebszeit konstant.

R7s on Quality IR Heating Lamps

R7s Infrarot Heizglühbirne für Fabrikation