جلوگیری از خراب شدن کل محموله به دلیل خرابی لامپ
در فرآیندهای گرمایش در نیمههادیها، خرابی لامپ میتواند فاجعهبار باشد. مسئله فقط متوقف شدن فرآیند گرمایش نیست؛ وقتی لوله کوارتز تحت بار سنگین خراب میشود، در واقع به یک بمب تبدیل میشود و تکههای شیشهای و ذرات فلزی را روی سطح ویفر پخش میکند.
یک بار خرابی لامپ، به معنای از بین رفتن کل محموله است.
ما زمان زیادی را صرف یافتن راههایی برای جلوگیری از این اتفاق کردهایم.
نگه داشتن آشفتگی در داخل
ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده میتواند در برابر گرمایش و سرمایش ناگهانی مقاومت کند. اما ما فقط به همین محدود نمیشویم.
ما یک پوشش محافظتی ویژه در اطراف لامپ قرار میدهیم؛ این پوشش مانند یک تور ایمنی عمل میکند. اگر فیلامنت لامپ خراب شود، تکههای شیشهای در داخل پوشش باقی میمانند. این کار باعث میشود که یک فاجعه، به یک خاموشی کنترلشده تبدیل شود. شما لامپ را از دست میدهید، اما ویفرها را نجات میدهید.
مقابله با گرما
لامپهایی با توان بالا، دمای بسیار بالایی دارند. اگر سیستم خنککننده نتواند دمای محیط را کنترل کند، انتهای لامپ دچار گرمای بیش از حد میشود. این امر فشار زیادی روی پوشش لامپ وارد میکند.
برای حل این مشکل، ما محل قرارگیری فیلامنت را تغییر دادیم؛ تا گرما روی ویفر بریزد، نه روی پشتیبانهای لامپ. این کار باعث میشود که شیشه در نقاط حساس خود نرم یا ترک نشود.
توازن مناسب
لامپهای ما به گونهای طراحی شدهاند که بتوان آنها را به راحتی جایگزین کرد؛ بنابراین شما مجبور نیستید ساعتها منتظر بمانید تا مشکل حل شود.
اما یک مشکل کوچک وجود دارد: این پوششهای محافظتی برای حفظ تمیزی ویفرها، مقدار کمی از اشعه مادون قرمز را مسدود میکنند. شاید مجبور شوید تنظیمات توان لامپ را کمی افزایش دهید تا سرعت گرم شدن ویفرها در حد مورد نظر باقی بماند.
این یک توازن مناسب است؛ ما ترجیح میدهیم که شما دو ثانیه وقت بگذارید تا تنظیمات لامپ را تغییر دهید، به جای اینکه دو روز وقت خود را صرف تمیز کردن محموله خراب شده کنید.