در فرآیند دифیوژن، آن لامپها تنها منبع گرما نیستند؛ بلکه آنها مقدار گرمای لازم برای فرآیند را تعیین میکنند. اگر دما حتی یک درجه اشتباه باشد، پروفایل فوتورزیست شروع به تغییر میکند؛ در نتیجه کیفیت محصول نیز کاهش مییابد. آنچه مورد نیاز است، گرمایی است که قابل پیشبینی، پاک و سریع باشد.
آنچه از نظر فنی ساختهایم:
ما از عناصر هالوژنی نزدیک به مادون قرمز درون غلاف کوارتزی استفاده کردهایم. طیف انرژی این عناصر برای گرم کردن سطحی ساختارها تنظیم شده است؛ بنابراین افزایش دما به سرعت اتفاق میافتد و اختلافات دمایی ناشی از فرآیند به حداقل میرسد. در سطح کلی، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود. واکنش این لامپ در کمتر از یک ثانیه اتفاق میافتد؛ بنابراین کنترل دما در طول فرآیند به خوبی انجام میشود. این سیستم هیچ ذرهای در حین کار تولید نمیکند؛ همچنین در محیطهای پاکسازی شده کلاس ۱-۱۰۰ نیز کار میکند، بدون ایجاد گازهای زائد. تراکم انرژی این لامپ با پروفایل فرآیند تطبیق دارد؛ بنابراین خروجی آن در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار، کمتر از ۵٪ کاهش مییابد.
چرا این سیستم برای کار شما مناسب است:
در فرآیند دифیوژن، یکنواختی بسیار مهم است؛ چه در فرآیند دوپینگ، چه در تشکیل لایههای فوتورزیست. در فرآیند پردازش فوتورزیست نیز، دقت دما بسیار مهم است تا زاویههای سطحی در محدوده مشخصی باقی بمانند. این لامپ هر دو ویژگی را فراهم میکند. یکنواختی دما، استرس حرارتی را کاهش میدهد، خطرات ناشی از نقصها را کاهش میدهد و زمان پردازش را کوتاه میکند. عملکرد پاک این لامپ، تعداد ذرات تولید شده را کاهش میدهد؛ که برای کیفیت محصول بسیار مهم است. واکنش سریع این لامپ و کاهش مصرف انرژی، باعث میشود که هزینههای نگهداری کمتر شود. نتیجه این است که کنترل دما قابل پیشبینی خواهد بود، تعداد محصولات باکیفیت بیشتر خواهد شد و بهرهوری فرآیند نیز ثابت خواهد بود.
جزئیات عملی که باید در نظر گرفته شوند:
نصب این لامپ نیازمند تنظیم دقیق موقعیت آن و استفاده از دستگاههایی است که مانع از اختلال در پروفایل حرارتی شوند. این لامپ با تراکم انرژی بالایی کار میکند؛ بنابراین باید سیستم خنککننگ مناسبی در نظر گرفته شود. همچنین باید پارامترهای PID کنترلر فرآیند با لامپ تطبیق داده شود تا از اختلالات دمایی جلوگیری شود. پس از تعویض لامپ، نیاز به یک دوره گرمشدن کوتاه وجود دارد تا لامپ کاملاً پایدار شود. برای جلوگیری از اختلالات، باید تعویض لامپ را در زمانهای مشخصی انجام داد؛ این کار باعث میشود فرآیند در محدوده مشخصی باقی بماند.