در فرآیند خشک کردن ویفرها یا پختن رزیست فوتوگرافی، اختلافات دمایی ناشی از عوامل حرارتی، منجر به شکستهای فاجعهباری نمیشود. این اختلافات باعث کاهش بازده تولید، افزایش نوسانات در توزیع دما، و ایجاد کارهای تکراری میشود که زمان کاری شما را میگیرد. در شرایطی که بودجه حرارتی محدود است، هیچ جایی برای وجود نقاط داغ یا سرد، یا تغییرات در مقادیر دمایی وجود ندارد.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما گرمکنهای مادون قرمز دو لولهای را با استفاده از فرستندههای کوارتزی با طول موج کوتاه ساختهایم. این فرستندهها انرژی را به طور مستقیم و سریع منتقل میکنند؛ پس پاسخ آنها فوری است. طراحی دو لولهای، تراکم انرژی را بدون اشغال فضای زیاد، بالا میبرد؛ بنابراین این گرمکنها میتوانند در محلهای مختلف مانند ماشینهای پخت، ماشینهای پوشاندن سطوح، و ایستگاههای تصحیح، استفاده شوند. در کل منطقه فعال، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین سیستم کنترل، برای حفظ یکنواختی دما، تنظیم شده است. سازگاری این گرمکنها با محیطهای خالی از ذرات نیز یک ویژگی مهم است؛ زیرا مواد و ساختار این گرمکنها، تولید ذرات را تا حد صفر کاهش میدهد؛ که این ویژگی برای محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ ضروری است.
چرا این گرمکنها در صنعت ما مفید هستند؟
خشک کردن ویفرها و تمیز کردن آنها، به دلیل تأثیر مستقیم موجهای مادون قرمز بر ویفر، سریعتر انجام میشود؛ در نتیجه، حجم هوای گرم شده کمتر میشود. در فرآیند پردازش رزیست فوتوگرافی، این گرمکنها دمای مناسبی برای پخت رزیست فراهم میکنند؛ که این امر باعث بهبود کیفیت سطوح و کاهش نقصهای ناشی از عدم یکنواختی دما میشود. همچنین، این گرمکنها باعث یکنواختی در فرآیند چسبندگی مواد میشوند؛ بنابراین رفتار مواد قابل پیشبینی خواهد بود. همچنین، این گرمکنها انرژی کمتری مصرف میکنند؛ زیرا تنها قسمت مورد نظر را گرم میکنند. قابلیت اطمینان این گرمکنها نیز ثابت شده است؛ زیرا این گرمکنها میتوانند بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کنند، بدون اینکه کمتر از ۵٪ کاهش در عملکرد آنها رخ دهد.
چه چیزهایی را باید با تجربه یاد گرفت؟
موجهای مادون قرمز تنها در خط دید قرار میگیرند؛ لذا قطعات فلزی میتوانند گرما را منعکس کنند، و این امر باعث ایجاد نقاط داغ یا سرد میشود. بنابراین، موقعیت قرارگیری لامپ باید با در نظر گرفتن عوامل بصری و هندسی تعیین شود. ما یک محدوده مشخص برای نصب لامپ ارائه میدهیم و توصیه میکنیم که در هنگام نصب، لامپ را یک بار تنظیم کنید. پس از آن، لامپ میتواند طبق مشخصات مورد نظر کار کند؛ شما نیز فقط باید به زمان جایگزینی لامپ توجه کنید.