http://lamp-ir.com/fa/tags/%D8%A7%D9%84%DA%A9%D8%AA%D8%B1%D9%88%D9%86/ Recent content in الکترون on Quality IR Heating Lamps Hugo fa Wed, 24 Jun 2026 04:39:50 +0800 http://lamp-ir.com/fa/posts/sem-scanning-electron-microscope-heater/ Wed, 24 Jun 2026 04:39:50 +0800 http://lamp-ir.com/fa/posts/sem-scanning-electron-microscope-heater/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="گرمکن میکروسکوپ الکترونی روبشی"></p> <p>در بخش لیتوگرافی، حتی کوچکترین تغییر در دمای سکوی SEM می‌تواند منجر به اختلالاتی در اندازه‌گیری قطر دیسک شود. همچنین، پروفیل گرمایشی فوتورزیست نیز تنها زمانی قابل تکرار است که پایداری حرارتی در معرض پرتو نور مناسب باشد. آنچه لازم است، یک گرمکن است که نه تنها گرما تولید کند، بلکه آن را نیز به خوبی کنترل کند.</p> <p><strong>موارد مهم از نظر فنی</strong><br> ما گرمکن SEM را با استفاده از موادی که گاز کمی تولید می‌کنند و لامپ‌های هالوژن/کوارتز ساختیم؛ این لامپ‌ها به سرعت و در جایی که لازم است، واکنش نشان می‌دهند. در منطقه اندازه‌گیری، یکنواختی دمای ویفرها در حد ±۰٫۱ درجه سانتی‌گراد باقی می‌ماند؛ همچنین، تکرارپذیری مقادیر اندازه‌گیری نیز در حد ±۰٫۰۵ درجه سانتی‌گراد است.<br> این سیستم بدون هیچگونه اختلالی کار می‌کند؛ بنابراین شرایط اتاق پاک‌سازی در سطح ۱ تا ۱۰۰ حفظ می‌شود، بدون اینکه سلامت اتاق مختل شود. تأمین انرژی نیز به گونه‌ای تنظیم شده است که پروفیل گرمایشی ثابت بماند؛ بنابراین کنترل عرض خطوط و تکرارپذیری پروفیل‌ها نیز دچار تغییر نمی‌شود.<br> قابلیت کارکرد ۲۴ ساعته این سیستم، مدیون چرخه‌های حرارتی کنترل‌شده و رابط‌های الکتریکی محکم است؛ بنابراین هیچ توقف غیرمنتظره‌ای رخ نمی‌دهد.</p>