http://lamp-ir.com/fa/tags/%D9%84%DB%8C%D8%AA%D9%88%DA%AF%D8%B1%D8%A7%D9%81%DB%8C/ Recent content in لیتوگرافی on Quality IR Heating Lamps Hugo fa Tue, 09 Jun 2026 04:03:44 +0800 http://lamp-ir.com/fa/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Tue, 09 Jun 2026 04:03:44 +0800 http://lamp-ir.com/fa/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="عنصر حرارتی نرمپخت لیتوگرافی"></p> <p>در کف کارخانه، پایداری دمای نرم‌پخت یک ترجیح نیست—بلکه خطی است که بین حفظ ابعاد بحرانی و تماشای تبدیل ویفرها به ضایعات کشیده شده است. جابجایی 1.5°C حاشیه پروفیل فوتورزیست را از بین می‌برد و هر ذره تولید شده در طول پخت، لایه بعدی را آلوده می‌کند. ما عنصر گرمایشی نرم‌پخت لیتوگرافی را طراحی کردیم تا این حالت‌های خرابی را از ریشه حذف کند.</p> <p>هسته آن، یک لامپ هالوژن مادون قرمز موج کوتاه (SWIR) در پوسته کوارتزی است که انتقال حرارت سریع و مستقیم به داخل رزیست را فراهم می‌کند. در سراسر ناحیه پخت، یکنواختی سطح ویفر ±0.1°C حفظ شده و تغییرات دمایی به سرعت تثبیت می‌شود به طوری که زمان چرخه روی خط از دست نمی‌رود.</p>