Boule de chauffage infrarouge R7s pour fab

Fri, 26 Jun 2026 05:46:09 +0800

Dans les ateliers de fabrication, le budget thermique lié au photorésistant n’est pas quelque chose qui puisse être négocié. Un écart de température de même que degré suffit à perturber le contrôle des dimensions critiques, ce qui a pour conséquence une baisse du taux de production. La lampe à infrarouges R7s a été conçue pour éviter de tels écarts dès leur origine.

Ce qui est important en réalité La lampe R7s émet des ondes infrarouges à courte longueur d’onde, ce qui lui permet de réagir rapidement et de maintenir la température stable en quelques secondes. On obtient ainsi une uniformité à niveau de wafer, avec une tolérance de ±0,1°C sur toute la surface de cuisson. De plus, la précision de réglage reste constante d’un cycle de cuisson à l’autre. La lampe fonctionne parfaitement dans des environnements de classe 1–100, sans générer aucune particule, ce qui évite toute contamination pendant les processus de lithographie ou d’etching. L’enveloppe en quartz et la base standardisée de la lampe R7s facilitent son intégration dans les modules existants. Le profil thermique reste constant, même lorsqu’on travaille 24h/24.

R7s on Quality IR Heating Lamps

Boule de chauffage infrarouge R7s pour fab