Chauffage infrarouge pour chambre à vide
Pourquoi nous ne prenons pas de raccourcis lors du test des lampes à infrarouges à vide
Les chambres à vide sont des environnements extrêmes, où il...
Chauffage infrarouge compatible avec le vide
Sur la ligne litho, la cuisson du photoresist n’est pas une simple mise en température. C’est un verrou dimensionnel.
Une dérive de 1°C en cuisson...