
ייבוש שבבי MEMS ללא בלגן
כשמייצרים חיישני MEMS, הדבר האחרון שרוצים הוא שחלקיק אבק או לכלוך כימי יפגעו בשבב. אך ניקוי המשטחים האלה מרטיבות וחומרים כימיים הוא משימה לא קלה.
במשך זמן רב, אנשים השתמשו בתנורים עם אוויר מאולץ. הבעיה? הם צורכים הרבה אנרגיה, והם מסתמכים על זרימת אוויר. בחדרי ניקיון, זרימת אוויר רק מגרה את החלקיקים להצטבר על השבבים.
לכן עברנו לשימוש בחיממים באמצעות קרינת אינפרא-אדום. במקום לחמם את האוויר, אנו משתמשים בקרינה. אין צורך במאווררים, ויש הרבה פחות חומרים מזהמים.
איך זה עובד בפועל
דמיינו זאת כך: חיממים אלו אינם מתעסקים עם האוויר בחדר. הם פוגעים ישירות במולקולות המים ובשאריות החומרים הכימיים. הפוטונים פוגעים במשטח, גורמים למולקולות לרטוט, והנוזל פשוט נעלם. זה קורה באופן מיידי. אין צורך לבזבז אנרגיה על חימום תיבת מתכת ענקית; רק השבב נחמם. זו דרך חכמה יותר לניצול האנרגיה.
ההיבט ה“ירוק” של הטכנולוגיה
התעשייה עוברת לשימוש בטכנולוגיות ללא עופרת, ובאמת, כבר זמן שצריך לעשות זאת. טכנולוגיית החימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום מתאימה לכך. אין צורך בחומרים כימיים שמשמשים בשיטות הישנות. אין חומרים מזהמים שעלולים להיפלט מהחיממים. זו אנרגיה נקייה שעוברת מנקודה א’ לנקודה ב’.
החסרונות (כי שום דבר אינו מושלם)
הבעיה היא שמנורות אינפרא-אדום בעלות עוצמה גבוהה הן עוצמתיות מאוד – מה שנהדר למהירות – אך הן עלולות לגרום לנזק לשבב. אם פתאום מעלים את הטמפרטורה, זה עלול לגרום לשבב להינזק. כדי למנוע זאת, צריך שליטה יעילה על הטמפרטורה.
ועוד דבר חשוב: המעטפות של המנורות האלו רגישות מאוד. כל תנועה לא זהירה בזמן החלפת הכלים עלולה לגרום לשבירת המנורה.
עיצבנו את המערכות האלו כך שהן יתאימו למערכות הקיימות שלכם. כך תוכלו לעבד את השבבים מהר יותר, והתהליך יהיה נקי יותר. רק ודאו שמערכת הקירור שלכם יכולה להתמודד עם החום שנוצר מהמנורות, ואז תהיו בסדר.