जब आईआर लैंप टूट जाता है, तो सब कुछ बर्बाद हो जाता है।
सेमीकंडक्टर निर्माण की प्रक्रिया में, लैंप का टूटना कोई छोटी समस्या नहीं है… यह तो एक भयावह स्थिति है।
कल्पना कीजिए: आप उच्च लोड वाली स्थिति में काम कर रहे हैं, और अचानक क्वार्ट्ज का आवरण टूट जाता है। इससे काँच के टुकड़े एवं टंगस्टन फिलामेंट आपके वेफरों पर गिरने लगते हैं। इससे न केवल एक वेफर खराब हो जाता है, बल्कि पूरी बैच की वेफरें भी नष्ट हो जाती हैं। ऐसे में कई घंटों की मेहनत एवं बहुत सारा पैसा भी बर्बाद हो जाता है।
आखिर ये लैंप क्यों टूट जाते हैं?
आम तौर पर, ऐसा थर्मल शॉक या स्थानीय गर्मी के कारण होता है। हमने इस समस्या को दूर करने हेतु बहुत मेहनत की है।
हम उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं, एवं लैंप की दीवारों की मोटाई को ऐसे ही तय करते हैं कि लैंप तेज गर्मी/ठंड को सह सके। लेकिन असली रहस्य तो टंगस्टन फिलामेंट को सही जगह पर रखना है… अगर यह थोड़ा भी विस्थापित हो जाता है, तो वहाँ गर्मी पैदा हो जाती है, जिससे काँच टूट जाता है।
वेफरों को कचरे से बचाना
ताकि वेफर साफ रहें, हम दो-स्तरीय सुरक्षा व्यवस्था का उपयोग करते हैं। हम सुरक्षात्मक कवरों का उपयोग करते हैं… जो सिरेमिक या उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज से बने होते हैं। अगर लैंप टूट जाता है, तो ये कवर सभी कचरों को अंदर ही रोक देते हैं… इससे वेफर सुरक्षित रहते हैं।
हम कनेक्टरों पर भी बहुत ध्यान देते हैं… उच्च कंपन वाले वातावरण में ढीले कनेक्टरों के कारण विद्युत धारा प्रवाहित होती है… जिससे गर्मी पैदा होती है… इसलिए हम मजबूत सीलों का उपयोग करते हैं ताकि सब कुछ स्थिर रहे।
आपको जानना आवश्यक है…
अगर आप उच्च तीव्रता वाला आईआर आउटपुट चाहते हैं, तो आपको अधिक वॉटेज की आवश्यकता होगी… लेकिन अधिक वॉटेज के कारण हैलोजन गैस से अधिक दबाव पैदा होता है… निश्चित रूप से, ऐसी स्थिति में लैंप की गुणवत्ता का कोई महत्व नहीं रह जाता… सील टूट जाता है।
संतुलन ही सब कुछ है।