Di fasilitas produksi, perubahan suhu sebesar 0,1°C selama proses pemanasan photoresist saja sudah cukup untuk membuat seluruh batch wafer berukuran 300 mm menjadi tidak layak digunakan. Lampu inframerah yang digunakan untuk memanaskan interposer dirancang untuk mencegah terjadinya perubahan suhu tersebut sebelum terjadi.
Inti dari teknologi ini adalah penggunaan pemancar inframerah berfrekuensi pendek yang dilengkapi dengan elemen kuarsa yang memiliki respons cepat. Dengan demikian, panas yang dihasilkan bersifat lokal dan cepat. Konsistensi suhu pada permukaan interposer tetap berada dalam rentang ±0,1°C, sehingga variasi suhu dapat dikendalikan dengan baik. Panjang gelombang cahaya yang dihasilkan disesuaikan agar energi tersebut hanya sampai ke area yang diperlukan saja, yaitu lapisan photoresist, tanpa merusak bahan dielektrik yang ada di bawahnya. Lampu ini dapat beroperasi 24/7, tidak menghasilkan partikel apa pun, dan menciptakan lingkungan yang bersih, mulai dari kelas 1 hingga kelas 100.
Dalam proses litografi, kita tahu bahwa proses pemanasan photoresist sangat penting. Proses pemanasan “soft” digunakan untuk mengeluarkan pelarut dari photoresist dan membentuk pola yang diinginkan. Sedangkan proses pemanasan “hard” digunakan untuk memfiksasi pola tersebut sebelum dilakukan proses etching. Kedua proses ini membutuhkan suhu yang stabil dan seragam. Lampu ini dapat menjaga stabilitas suhu pada interposer, sehingga variasi lebar garis pada wafer dapat dikendalikan, dan endapan atau kotoran tidak akan muncul setelah proses pengembangan fotoresist selesai.
Hasilnya? Produksi menjadi lebih efisien, jumlah produk yang harus dibuat ulang berkurang, dan kontrol ketepatan ukuran wafer menjadi lebih baik. Penggunaan energi juga berkurang, karena lampu ini hanya memanaskan area yang ditujukan, bukan seluruh permukaan hot plate.
Beberapa hal penting yang perlu diperhatikan: Instalasi lampu ini memerlukan penyesuaian optik yang tepat serta pemasangan yang memenuhi standar ruang bersih, agar jumlah partikel tetap terkendali. Intensitas cahaya yang dihasilkan juga disesuaikan sesuai dengan jenis interposer yang digunakan. Jika jenis interposer berubah, maka diperlukan penyesuaian cepat terhadap parameter pengaturan lampu tersebut.
Rencanakan integrasi lampu ini bersama dengan sistem kontrol termal sejak awal. Setelah semuanya terpasang dengan baik, proses produksi akan berjalan lancar.