Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Kotoran
Saat membuat sensor MEMS, hal terakhir yang diinginkan adalah adanya debu atau kotoran kimia yang merusak permukaan wafer. Namun, menghilangkan kelembapan dan bahan pelarut dari permukaan wafer tersebut bukanlah hal yang mudah.
Selama ini, orang-orang menggunakan oven berudara untuk proses pengeringan. Masalahnya? Oven tersebut membutuhkan energi yang banyak, dan proses pengeringannya bergantung pada aliran udara. Di ruang bersih, aliran udara justru akan membawa partikulat kotoran ke permukaan wafer.
Itulah sebabnya kami beralih ke pemanas inframerah berfrekuensi rendah. Alih-alih memanaskan udara, pemanas ini menggunakan radiasi untuk memanaskan wafer. Tidak ada kipas, tidak ada aliran udara, sehingga kotoran pun berkurang drastis.
Cara Kerjanya
Bayangkan saja: Pemanas inframerah tidak mempengaruhi udara di dalam ruangan. Energi panasnya langsung ditujukan pada molekul air dan sisa bahan pelarut. Foton-foton tersebut membuat molekul-molekul tersebut bergetar, sehingga cairan tersebut hilang begitu saja. Proses ini terjadi secara instan. Anda tidak perlu membuang-buang energi untuk memanaskan seluruh ruangan; energi hanya digunakan untuk memanaskan wafer saja. Ini merupakan cara yang lebih efisien dalam menggunakan energi.
Aspek “Lingkungan”
Industri semakin beralih ke standar bebas timbal dan ramah lingkungan. IR curing cocok untuk hal ini. Anda tidak perlu menggunakan bahan kimia berbahaya yang digunakan oleh metode pengeringan tradisional. Tidak ada VOC yang keluar dari elemen pemanas. Energi panas digunakan secara efisien, dari titik A ke titik B.
Kekurangan
Namun, ada kelemahan juga. Lampu inframerah berintensitas tinggi sangat kuat—yang bagus untuk kecepatan pengeringan—tetapi bisa merusak wafer jika digunakan secara sembarangan. Jika intensitas panasnya terlalu tinggi, wafer bisa rusak. Untuk mencegah hal ini, diperlukan kontroler PID yang baik untuk mengatur intensitas panas.
Perlu diingat juga bahwa lapisan kuarsa pada pemanas tersebut sangat rapuh. Satu kesalahan kecil saat mengganti alat saja sudah cukup untuk merusak pemanas tersebut. Kami telah merancang sistem ini agar dapat digabungkan dengan sistem konveksi yang sudah ada. Dengan begitu, proses pengeringan wafer akan lebih cepat, dan hasilnya akan lebih bersih. Pastikan sistem pendinginan Anda mampu menangani panas yang dihasilkan oleh pemanas tersebut.