Passaggio dall’uso dell’aria calda a quello delle lampade a infrarossi senza ozono nel processo di semiconduttore
Se ancora utilizzate l’aria calda per il trattamento dei semiconduttori, probabilmente state perdendo troppo tempo in attesa che la temperatura della camera raggiunga il livello desiderato.
Passare alle lampade a infrarossi senza ozono non significa semplicemente utilizzare un tipo diverso di calore: si tratta anche di eliminare quel tempo di attesa fastidioso.
Il problema del “tempo di attesa”
Pensate a come funziona l’aria calda: bisogna prima riscaldare l’aria, e poi è questa ad riscaldare il substrato su cui lavoriamo. In pratica, c’è sempre un intermediario tra la lampada e il substrato stesso. Bisogna quindi aspettare minuti interi affinché la temperatura della camera sia sufficiente.
Le lampade a infrarossi eliminano questo intermediario: l’energia viene trasmessa direttamente dal bulbo alla parte da trattare. In questo modo, il tempo necessario per raggiungere la temperatura desiderata diminuisce da minuti a secondi. È come accendere un interruttore.
Il problema legato all’ozono
Ecco il problema: la maggior parte delle lampade a infrarossi standard emette radiazioni nella fascia di 185 nm. Il problema è che ciò provoca la formazione di ozono.
In una sala pulita, l’ozono è davvero un problema: distrugge i sigilli e ossida le parti che devono rimanere intatte. Per risolvere questo problema, vengono utilizzati filamenti filtrati e rivestimenti in quarzo. In questo modo si ottiene una densità di calore elevata, ma senza alcun problema chimico.
Come impostare correttamente le lampade
Non basta semplicemente collegarle alla rete elettrica. Queste lampade consumano molta energia, quindi è necessario regolare con precisione la tensione fornita – altrimenti i tubi si bruciano molto rapidamente.
Inoltre, queste lampade diventano estremamente calde. Se volete ottenere il massimo calore, non utilizzate supporti economici: potrebbero deformarsi. È meglio utilizzare materiali ceramici resistenti al calore.
I limiti
Niente è perfetto. Le lampade a infrarossi sono estremamente veloci, ma il loro raggio d’azione è limitato. A differenza dell’aria calda, che riscalda tutto intorno, le lampade a infrarossi riscaldano soltanto quelle aree che riescono a “vedere”. Se le vostre parti hanno forme strane o angoli nascosti, ci saranno zone non riscaldate.
Dovrete quindi dedicare del tempo per configurare correttamente le lampade o utilizzare riflettori. Ci vuole un po’ di tempo per ottenere una copertura uniforme su tutta la superficie del wafer, ma la velocità ottenuta ne vale la pena.