Riscaldatore per SEM (Microscopio Elettronico a Scansione)

Wed, 24 Jun 2026 04:39:50 +0800

Nella sala di litografia, anche un minimo spostamento dello stadio del SEM può causare errori nella misurazione della larghezza del cerchio ottico. Inoltre, la precisione dei processi di essiccazione del fotoresisto dipende dalla stabilità termica durante l’esposizione al fascio luminoso. Quello che serve è quindi un riscaldatore in grado non solo di fornire calore, ma anche di controllarlo con precisione.

Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Abbiamo progettato il riscaldatore del SEM utilizzando materiali con bassa emissione di gas, nonché una lampada a ioduro/quarzo in grado di reagire rapidamente, esattamente dove è necessario. Nella zona di misurazione, l’uniformità della temperatura sui wafer rimane entro i ±0,1°C, mentre la ripetibilità del valore di riferimento rimane entro i ±0,05°C. Il sistema funziona senza alcun problema legato alla presenza di particelle, mantenendo così standard di pulizia pari a Class 1–100, senza compromettere l’integrità della camera. L’alimentazione elettrica è regolata in modo da garantire profili di essiccazione stabili; di conseguenza, le temperature di essiccazione rimangono entro i limiti previsti, e il controllo della larghezza delle linee e la ripetibilità dei risultati rimangono precisi. La affidabilità del sistema è garantita grazie a cicli termici controllati e interfacce elettriche solide, riducendo così al minimo i tempi di inattività imprevisti.

Elettrone on Quality IR Heating Lamps

Riscaldatore per SEM (Microscopio Elettronico a Scansione)