http://lamp-ir.com/ja/tags/%E4%BA%92%E6%8F%9B%E6%80%A7%E3%81%8C%E3%81%82%E3%82%8B/ Recent content in 互換性がある on Quality IR Heating Lamps Hugo ja Thu, 04 Jun 2026 04:01:59 +0800 http://lamp-ir.com/ja/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Thu, 04 Jun 2026 04:01:59 +0800 http://lamp-ir.com/ja/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="真空対応赤外線ヒーター"></p> <h1 id="リソグラフィーフロアではフォトレジストの焼成はウォームアップではありませんそれは寸法のロックです">リソグラフィーフロアでは、フォトレジストの焼成はウォームアップではありません。それは寸法のロックです。</h1> <p>ソフトベイクまたはハードベイクでの1°Cの変動は、クリティカルディメンション（CD）やサイドウォール角度を<a href="https://henruite.com">移動</a>させ、廃棄物の山が急速に<a href="https://o-yate.net">増加</a>します。真空プロセスでは、従来のヒーターはガスを放出したり、粒子を脱落させたり、不均一な熱を供給することがあります。その結果、歩留まりを稼働時間と引き換えにすることになります。</p> <p><strong>技術的に<a href="https://goldisgood.com">重要</a>なこと</strong> 我々は、石英と反射器のアセンブリ内に短波NIRソースを搭載した真空対応の赤外線ヒーターを構築しました。ポイントは、ウェーハと基板への直接で迅速なエネルギー移転です。 活性ゾーン全体で±0.1°Cのウェーハレベルの温度均一性を得られ、24時間で±0.5°Cより良いセットポイントの再現性を実現します。クリーンルームでは、Class 1–100に適合し、ツールレベルで確認された粒子生成ゼロを実現しています。真空の完全性は10⁻⁶ mbarまで維持され、焼成-冷却サイクルの繰り返しを通じて熱プロファイルは安定しています。これは、フォトレジストの熱予算が要求するものです。</p>