http://lamp-ir.com/ja/tags/%E6%8A%80%E8%A1%93%E7%9A%84%E3%81%AA%E3%81%93%E3%81%A8/ Recent content in 技術的なこと on Quality IR Heating Lamps Hugo ja Tue, 23 Jun 2026 01:09:01 +0800 http://lamp-ir.com/ja/posts/technical-support-for-wafer-heating/ Tue, 23 Jun 2026 01:09:01 +0800 http://lamp-ir.com/ja/posts/technical-support-for-wafer-heating/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ウェーハ加熱に関する技術サポート"></p> <p>製造現場では、ご存知の通り、わずか0.5度の温度変動だけで、ウェハの露光条件が変わってしまいます。もしエッジ<a href="https://o-yate.net">部分</a>の加熱を強くしすぎると、良品が廃棄物になってしまいます。ウェハ加熱装置は、高温環境下でも安定して機能しなければならず、手作業に頼ることなく、クリーンルーム内の静かな環境の中で正確な温度制御が求められます。</p> <p><strong>重要なのは内部構造です</strong><br> 私たちは、一般的な加熱装置ではなく、半導体の熱特性に合わせてウェハ加熱装置を設計しています。このシステムにより、ウェハ全体で±0.1℃の均一性が保たれ、その結果、フォトレジストの<a href="https://henruite.com">粘度</a>や溶剤の除去が適切に行われます。クリーンルームとの互換性も重要であり、粒子の発生を抑えるために、材料や表面処理も慎重に選ばれています。これにより、追加のフィルタリングを必要とせずに、クラス1～100のクリーンルーム環境を維持できます。</p>