http://lamp-ir.com/ja/tags/%E6%B8%85%E6%8E%83/ Recent content in 清掃 on Quality IR Heating Lamps Hugo ja Wed, 03 Jun 2026 10:22:37 +0800 http://lamp-ir.com/ja/posts/wafer-drying-lamp-after-cleaning/ Wed, 03 Jun 2026 10:22:37 +0800 http://lamp-ir.com/ja/posts/wafer-drying-lamp-after-cleaning/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="洗浄後のウェーハ乾燥ランプ"></p> <p>ウェハを洗浄し、表面は無垢であるが、不安定な状態にある。残留する水分は一方通行の欠陥発生経路となり、リソグラフィーおよびエッチング工程を通じて欠陥として現れ、歩留まりに影響を与える。 ウェハ乾燥用ランプを使用し、迅速かつ制御されたエネルギーで水分を除去する。表面を損なうことなく水分を飛ばすため、ウェハはフォトレジストのスピンコート、ソフトベーク、ハードベークに対応でき、安定した熱挙動が得られる。</p>