http://lamp-ir.com/ja/tags/%E9%A1%95%E5%BE%AE%E9%8F%A1/ Recent content in 顕微鏡 on Quality IR Heating Lamps Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 04:39:50 +0800 http://lamp-ir.com/ja/posts/sem-scanning-electron-microscope-heater/ Wed, 24 Jun 2026 04:39:50 +0800 http://lamp-ir.com/ja/posts/sem-scanning-electron-microscope-heater/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="SEM 走査型電子顕微鏡 用ヒーター"></p> <p>リソグラフィー装置内では、わずかな位置のずれでもSEMステージが動いてしまい、CD測定の精度が悪化してしまいます。また、フォトレジストの硬化プロファイルも、ビーム下での熱安定性によってのみ再現性が保たれます。必要なのは、単に熱を供給するだけでなく、その熱量を正確に制御できるヒーターです。</p>