http://lamp-ir.com/ko/tags/%EC%8A%A4%EC%BA%94-%EC%A4%91/ Recent content in (스캔 중) on Quality IR Heating Lamps Hugo ko Wed, 24 Jun 2026 04:39:50 +0800 http://lamp-ir.com/ko/posts/sem-scanning-electron-microscope-heater/ Wed, 24 Jun 2026 04:39:50 +0800 http://lamp-ir.com/ko/posts/sem-scanning-electron-microscope-heater/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="SEM(주사전자현미경) 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서는, 아주 약간의 움직임만 있어도 SEM 스테이지의 위치가 변하게 되고, 이는 CD 측정 결과에 오차를 초래합니다. 또한, 포토레지스트를 건조시키는 과정에서의 일관성도, 빔이 작용하는 환경 하에서의 열 안정성에 달려 있습니다. 따라서 중요한 것은 단순히 열을 공급하는 것이 아니라, 열을 체계적으로 제어할 수 있는 히터가 필요합니다.</p>