http://lamp-ir.com/ko/tags/%EC%8A%A4%ED%8D%BC%ED%84%B0%EB%A7%81/ Recent content in 스퍼터링 on Quality IR Heating Lamps Hugo ko Sun, 31 May 2026 05:14:04 +0800 http://lamp-ir.com/ko/posts/semiconductor-sputtering-heater/ Sun, 31 May 2026 05:14:04 +0800 http://lamp-ir.com/ko/posts/semiconductor-sputtering-heater/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="반도체 스퍼터링 히터"></p> <p>라인에서 온도는 제안이 아니라 규격이다. 포토레지스트 소프트 베이크 중 1°C 편차나 경화 과정 중 웨이퍼 전체에 걸쳐 2°C의 핫스팟은 조용히 오버레이 마진과 에칭 선택도를 잠식한다. 스퍼터링 및 관련 열 공정에서 히터는 단순히 열을 가하는 것이 아니라 프로세스가 매일 지켜야 하는 열 예산을 설정한다.<br> 우리는 웨이퍼 가열이 와트 수를 쫓는 것이 아니라 에너지 전달 제어에 관한 문제라는 점에 착안해 반도체 스퍼터링 히터를 적외선 방식으로 설계했다. 적외선은 빠른 응답과 안정적인 정상 상태 특성을 가진 직선 시야 내 직접적인 열을 제공한다. 이는 조리법이 엄격한 열 균일성과 반복 가능한 베이크 프로파일을 요구할 때 필요한 조건이다.</p>