와이퍼 오염이라는 악몽을 막아보자 솔직히 말해서, 반도체 제조 과정에서 램프가 파손되는 것은 치명적인 문제입니다. 이건 단순한 부품의 고장이 아니라, 심각한 재앙입니다. 석영관이 큰 부하를 견디지 못해 깨지면, 유리 조각들과 텅스텐 필라멘트들이 와이퍼 위로 떨어집니다...

웨이퍼 건조나 포토레지스트 가열 과정에서 발생하는 열 변동은 치명적인 고장으로 이어지지는 않습니다. 대신 수율 저하, CD 분포의 불균일성, 그리고 재작업으로 인한 시간 손실과 같은 문제가 발생합니다. 열 관리가 매우 중요하기 때문에, 과열된 부분이나 온도가 불규칙한...