인터포저 가열용 적외선 램프

팹에서는, 포토레지스트를 가열하는 과정에서 0.1°C만큼의 온도 변동이 있어도 300mm 웨이퍼 전체가 폐기되고 맙니다. 이러한 온도 변동을 사전에 방지하기 위해 인터포저를 가열하는 적외선 램프가 사용됩니다. 이 램프의 핵심은, 빠르게 반응하는 석영 소자를 활용한 단...