린스 램프를 사용한 후에도 빠르게 건조되는 웨이퍼

팹 내에서의 세척 단계는 끝이 아닙니다. 이는 오염물질이 침투하기 전의 마지막 관문일 뿐입니다. 물자국, 천천히 마르는 현상, 그리고 과열된 부분들은 단순히 외형상 문제가 되는 것이 아니라, 생산 효율을 떨어뜨리고 예기치 않은 가동 중단을 초래합니다. 세척 후에는 입...