Bij het drogen van zonnecelwafers is de stabiliteit van het fotorezistentie-materiaal essentieel. Eén klein beetje vocht dat overblijft na het schoonmaken, kan al leiden tot defecten in de wafers. Ook het thermische budget voor het zachte en harde droogproces is beperkt. Bij conventioneel drogen verandert het temperatuurprofiel, waardoor het moeilijk wordt om de concentratie deeltjes en de dikte van de lagen onder controle te houden.
Onze lamp voor het drogen van zonnecelwafers zorgt voor een temperatuuruniformiteit van ±0,1°C over de hele wafel. Dit wordt bereikt door gebruik te maken van kortegolf-Infrarood-emitters die binnen één seconde reageren. Deze precisie zorgt erop dat het proces van het drogen van het fotorezistentiemateriaal herhaalbaar blijft, zonder dat er fouten optreden. De lamp is geschikt voor gebruik in ruimtes met een zuiverheidsklasse van 1–100. Hij kan meer dan 5.000 uur lang werken, met minder dan 5% afwijking in de intensiteit. Bovendien veroorzaakt de lamp geen deeltjesontwikkeling. Het geïntegreerde kwartsbeschermingssysteem en de gesloten thermische route zorgen ervoor dat er geen kontaminatie optreedt en het temperatuurprofiel behouden blijft.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie en etapprocessing: Als de thermische controle niet goed is, wordt het drogen van de wafers de beperkende factor. Met deze lamp kan de droogtijd worden verkort, terwijl het thermische budget behouden blijft. Hierdoor kan de productiecapaciteit worden verhoogd, zonder dat de kwaliteit van de producten wordt aangetast. Het herhaalbare temperatuurprofiel zorgt er ook voor dat er minder herwerkingsacties nodig zijn, minder afval ontstaat en de cyclustijden beter kunnen worden gepland. De energieverbruik neemt ook af, omdat de lamp alleen het gewenste gebied verwarmt en precies op het juiste moment uitschakelt wanneer het droogproces klaar is.
Enkele praktische details: De lamp heeft een aparte voedingsbron van 24 VDC nodig. Daarnaast moet de lamp op een schone plek worden geplaatst, zonder trillingen, zodat de richting van de lamp nauwkeurig kan worden vastgehouden. De lamp werkt met standaard dragers van 150 mm en 200 mm. Voor dragers van 300 mm is alleen een kleine aanpassing nodig. Plan een kort testproces om het exacte temperatuurprofiel vast te stellen en de instellingen te bepalen.