http://lamp-ir.com/nl/tags/bakken/ Recent content in Bakken on Quality IR Heating Lamps Hugo nl Tue, 09 Jun 2026 04:03:44 +0800 http://lamp-ir.com/nl/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Tue, 09 Jun 2026 04:03:44 +0800 http://lamp-ir.com/nl/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Lithografie soft bake verwarmingselement"></p> <p>Op de productievloer is stabiliteit van de soft bake-temperatuur geen voorkeur, maar de grens <a href="https://goldisgood.com">tussen</a> het behouden van kritische dimensies en het zien van wafers die afval worden. Een <a href="https://henruite.com">afwijking</a> van 1,5°C wist de marge van het fotoresistprofiel weg, en elke deeltje-generatie tijdens het bakken besmet de volgende laag. We hebben het lithografie soft bake verwarmings-element ontworpen om deze faalwijze bij de bron uit te schakelen.</p> <p>Het hart ervan is een kortgolf infrarood (SWIR) halogeenlamp in een kwartshuls, wat snelle, directe thermische koppeling geeft rechtstreeks in het resist. Over de bake-zone heen blijft de uniformiteit op wafer-niveau ±0,1°C, en de temperatuurstijging stabiliseert snel genoeg zodat je geen tijd verliest in de track-cyclus.</p>