http://lamp-ir.com/nl/tags/compatibel/ Recent content in Compatibel on Quality IR Heating Lamps Hugo nl Thu, 04 Jun 2026 04:01:59 +0800 http://lamp-ir.com/nl/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Thu, 04 Jun 2026 04:01:59 +0800 http://lamp-ir.com/nl/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Vacuumgeschikte infraroodverwarmer"></p> <p>Op de litho-vloer is de fotoresist-bak geen opwarming. Het is een dimensionale vergrendeling.<br> Een afwijking van 1°C bij soft bake of hard bake verandert de kritische dimensie (CD) en de zijwandhoek, en de <a href="https://o-yate.com">afkeur</a> neemt snel toe. Bij vacuümprocessen kunnen conventionele verwarmers uitgassen, deeltjes afgeven of ongelijkmatige warmte leveren. Hierdoor ruil je opbrengst in voor beschikbaarheid.</p> <p><strong>Wat technisch telt</strong><br> We hebben een vacuümcompatibele infraroodverwarmer ontwikkeld rond kortgolvige NIR-bronnen in een kwarts- en reflectoropstelling. Het doel is directe, snelle energieoverdracht naar de wafer en het substraat.<br> Je krijgt wafer-niveau temperatuuruniformiteit binnen ±0,1°C over de actieve zone, en een herhaalbaarheid van de setpoint beter dan ±0,5°C over 24 uur. In de cleanroom werkt het systeem Class 1–100 compatibel, met nul deeltjesgeneratie bevestigd op toolniveau. Het behoudt vacuümintegriteit tot 10⁻⁶ mbar, en het thermisch profiel blijft stabiel gedurende herhaalde bake-cool cycli—precies wat het thermisch budget van fotoresist vereist.</p>