http://lamp-ir.com/nl/tags/sputteren/ Recent content in Sputteren on Quality IR Heating Lamps Hugo nl Sun, 31 May 2026 05:14:04 +0800 http://lamp-ir.com/nl/posts/semiconductor-sputtering-heater/ Sun, 31 May 2026 05:14:04 +0800 http://lamp-ir.com/nl/posts/semiconductor-sputtering-heater/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Halfgeleider sputterverwarmer"></p> <p>Op de productielijn is temperatuur geen suggestie maar een specificatie. Een afwijking van 1°C tijdens de photoresist soft bake, of een hot spot van 2°C over de wafer tijdens curing, zal geruisloos je overlay-marge en ets-selectiviteit aantasten. Bij sputteren en de ondersteunende thermische stappen voegt de heater niet alleen warmte toe. Hij bepaalt het thermische budget waarbinnen het proces dag in dag uit moet blijven functioneren.</p> <p>We hebben onze halfgeleider sputterheater rond infrarood gebouwd omdat het verwarmen van wafers vooral draait om het beheersen van energieoverdracht, niet om het najagen van wattages. Infrarood geeft directe, line-of-sight warmte met snelle respons en stabiel steady-state gedrag — precies wat nodig is wanneer het recept strikte thermische uniformiteit en reproduceerbare bake-profielen vereist.</p>