Lâmpada infravermelha para aquecimento do interposito

Wed, 01 Jul 2026 13:40:29 +0800

Na fábrica de litografia, uma variação de 0,1°C durante o processo de secagem do fotorresist é suficiente para estragar todo um lote de wafers de 300 mm. As lâmpadas infravermelhas de aquecimento foram desenvolvidas justamente para evitar essa variação antes mesmo que ela aconteça.

O segredo técnico está no uso de emissores de ondas curtas de infravermelho, combinados com elementos de quartzo de resposta rápida. Isso permite um aquecimento rápido e localizado. A uniformidade da temperatura ao longo da superfície do interposer fica dentro de ±0,1°C, e a repetibilidade da temperatura também fica dentro de limites aceitáveis. O comprimento de onda máximo é ajustado de acordo com a absorção do fotorresist, de modo que a energia seja direcionada ao local certo – ou seja, ao filme fotográfico – sem danificar os dielétricos subjacentes. Essas lâmpadas funcionam 24/7, não geram partículas e mantêm um ambiente limpo, desde a classe 1 até a classe 100.

Interpositor on Quality IR Heating Lamps

Lâmpada infravermelha para aquecimento do interposito