http://lamp-ir.com/ru/tags/%D0%B1%D1%80%D1%8B%D0%B7%D0%B3%D0%B0%D1%8E%D1%89%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Брызгающий on Quality IR Heating Lamps Hugo ru Sun, 31 May 2026 05:14:04 +0800 http://lamp-ir.com/ru/posts/semiconductor-sputtering-heater/ Sun, 31 May 2026 05:14:04 +0800 http://lamp-ir.com/ru/posts/semiconductor-sputtering-heater/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Полупроводниковый распылительный нагреватель"></p> <p>На линии температура — это не рекомендация, а техническое требование. Отклонение на 1°C во время мягкой сушки фоторезиста или локальный перегрев на 2°C на поверхности пластины при отжиге незаметно сокращают допуски совмещения и селективность травления. В процессе распыления и сопутствующих термических этапах нагреватель не просто подает тепло. Он задает тепловой бюджет, в рамках которого должен работать процесс изо дня в день.</p> <p>Мы построили нагреватель для полупроводникового распыления на основе инфракрасного излучения, поскольку нагрев пластины — это, прежде всего, контроль передачи энергии, а не гонка за мощностью. Инфракрасный нагрев обеспечивает прямое, «линейное» тепло с быстрым откликом и стабильным установившимся режимом — именно то, что требуется при жестких требованиях к термическому равномерности и повторяемости профилей сушки.</p>