На этапе обжига фоторезиста необходимо установить оптимальные температурные параметры. Если температура в определенных зонах изменяется или стекло...

На производственном участке достаточно всего лишь отклонения температуры в 0,1°C во время процесса выпечки фотополимера, чтобы сделать бесполезным...