http://lamp-ir.com/ru/tags/%D0%BB%D0%B8%D1%82%D0%BE%D0%B3%D1%80%D0%B0%D1%84%D0%B8%D1%8F/ Recent content in Литография on Quality IR Heating Lamps Hugo ru Tue, 09 Jun 2026 04:03:44 +0800 http://lamp-ir.com/ru/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Tue, 09 Jun 2026 04:03:44 +0800 http://lamp-ir.com/ru/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Нагревательный элемент для мягкой сушки после литографии"></p> <p>На производственном участке стабильность температуры софт-бейка — это не просто предпочтение, а граница между удержанием критического размера и превращением пластин в брак. Отклонение на 1,5°C сводит на нет запасы профиля фоторезиста, а образование частиц во время запекания загрязняет следующий слой. Мы спроектировали нагревательный элемент для софт-бейка в литографии так, чтобы устранить эти причины сбоев на корню.</p> <p>В основе лежит коротковолновая инфракрасная (SWIR) галогенная лампа в кварцевой колбе, которая обеспечивает быстрый прямой тепловой контакт с резистом. По всей зоне запекания равномерность температуры на уровне пластины сохраняется в пределах ±0,1°C, а температурный подъем стабилизируется достаточно быстро, чтобы не сокращать цикл линии.</p>