http://lamp-ir.com/ru/tags/%D0%BC%D1%8D%D0%BC%D1%81/ Recent content in МЭМС on Quality IR Heating Lamps Hugo ru Mon, 20 Jul 2026 12:01:16 +0800 http://lamp-ir.com/ru/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 20 Jul 2026 12:01:16 +0800 http://lamp-ir.com/ru/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Нагреватель для сушки пластин с датчиками MEMS"></p> <p>Как сушить пластины MEMS без появления загрязнений<br> При производстве датчиков MEMS последнее, чего хочется, — это чтобы какая-либо пылинка или химический осадок испортил пластину. Но избавление от влаги и растворителей с этих поверхностей оказывается сложной задачей.</p> <p>Долгое время для этой цели использовались печи с принудительной циркуляцией воздуха. Проблема заключалась в том, что такие устройства потребляют много энергии, к тому же они создают поток воздуха, что способствует попаданию частиц в помещение. В чистых комнатах это только ухудшает ситуацию.</p>