ในโรงงานผลิตชิป การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 0.1°C ระหว่างขั้นตอนการอบแผ่นฟอโตเรซิสต์ก็เพียงพอที่จะทำให้ชิปทั้งหมดที่มีขนาด 300 มม. ถูกทิ้งไปได้ ดังนั้นจึงมีการออกแบบหลอดไฟอินฟราเรดสำหรับการให้ความร้อนแก่อินเตอร์โพสเซอร์ เพื่อป้องกันไม่ให้เกิดการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิดังกล่าว
หัวใจสำคัญของเทคโนโลยีนี้คือการใช้หลอดไฟอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น พร้อมองค์ประกอบควอตซ์ที่มีความสามารถในการตอบสนองได้อย่างรวดเร็ว ทำให้สามารถให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็วและเฉพาะจุด อุณหภูมิบนพื้นผิวอินเตอร์โพสเซอร์จะอยู่ในช่วง ±0.1°C และมีความแม่นยำสูง ความยาวคลื่นของแสงถูกปรับให้เหมาะสมกับการดูดซับของฟอโตเรซิสต์ เพื่อให้พลังงานถูกส่งไปยังจุดที่จำเป็นเท่านั้น โดยไม่ทำให้วัสดุอื่นๆ เสียหาย หลอดไฟนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ และสามารถใช้งานได้ในสภาพแวดล้อมที่มีความสะอาดระดับ Class 1 ถึง Class 100
ในกระบวนการลิโธกราฟี เราทราบดีว่าการอบแผ่นฟอโตเรซิสต์มีความสำคัญมาก การอบแบบอ่อนจะช่วยขจัดสารละลายออก และช่วยให้โครงสร้างของฟอโตเรซิสต์เสถียร ส่วนการอบแบบแข็งจะช่วยให้รูปแบบของฟอโตเรซิสต์ถูกกำหนดไว้อย่างชัดเจนก่อนการกัดชิป ทั้งสองขั้นตอนนี้ต้องการอุณหภูมิที่คงที่และสม่ำเสมอ หลอดไฟนี้จึงช่วยรักษาอุณหภูมิของอินเตอร์โพสเซอร์ให้คงที่ ซึ่งช่วยลดความแปรปรวนของความกว้างของเส้น และช่วยป้องกันไม่ให้เกิดสิ่งสกปรกหลังจากการพัฒนาชิป
ผลลัพธ์คือ มีอัตราการผลิตที่สูงขึ้น มีชิปที่ต้องทำใหม่น้อยลง และสามารถควบคุมความแม่นยำของขนาดชิปได้อย่างดี นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลงด้วย เพราะหลอดไฟจะให้ความร้อนเฉพาะบริเวณที่ต้องการเท่านั้น ไม่ใช่ทั้งแผ่นอินเตอร์โพสเซอร์
มีหลายประเด็นที่ควรคำนึงถึงในการติดตั้งหลอดไฟนี้ ได้แก่ การปรับแต่งตำแหน่งของหลอดไฟให้เหมาะสม และการติดตั้งในสภาพแวดล้อมที่มีความสะอาด เพื่อให้มีอนุภาคน้อยที่สุด ความเข้มของแสงจากหลอดไฟก็ถูกปรับให้เหมาะสมกับอินเตอร์โพสเซอร์แต่ละชนิด ดังนั้น หากมีการเปลี่ยนแปลงอินเตอร์โพสเซอร์ ก็อาจจำเป็นต้องปรับค่าต่างๆ ของหลอดไฟใหม่
ควรวางแผนการติดตั้งหลอดไฟนี้ร่วมกับระบบควบคุมอุณหภูมิตั้งแต่เนิ่นๆ เมื่อทุกอย่างเข้าที่เข้าทางแล้ว กระบวนการผลิตก็จะสามารถดำเนินต่อไปได้อย่างราบรื่น