http://lamp-ir.com/th/tags/%E0%B8%98%E0%B8%B2%E0%B8%95%E0%B8%B8/ Recent content in ธาตุ on Quality IR Heating Lamps Hugo th Tue, 09 Jun 2026 04:03:44 +0800 http://lamp-ir.com/th/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Tue, 09 Jun 2026 04:03:44 +0800 http://lamp-ir.com/th/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="องค์ประกอบให้ความร้อนสำหรับอบอ่อนลิโทกราฟี"></p> <p>บนพื้นที่ผลิต อุณหภูมิการอบแบบ soft bake ที่มั่นคง ไม่ใช่เรื่องที่เลือกได้แต่เป็นเส้นแบ่งระหว่างการรักษาความแม่นยำของขนาดชิ้นงานกับการที่เวเฟอร์กลายเป็นของเสีย อุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงเพียง 1.5°C สามารถทำลายระยะขอบของรูปทรงโฟโตรีซิสต์ และการเกิดฝุ่นระหว่างการอบจะทำให้ชั้นถัดไปปนเปื้อน เราออกแบบองค์ประกอบฮีตเตอร์สำหรับการอบ soft bake ในขั้นตอน <a href="https://goldisgood.com">lithography</a> เพื่อกำจัดปัญหาเหล่านี้ตั้งแต่ต้นทาง</p>