http://lamp-ir.com/th/tags/%E0%B9%80%E0%B8%A1%E0%B8%A1%E0%B8%AA%E0%B9%8C/ Recent content in เมมส์ on Quality IR Heating Lamps Hugo th Mon, 20 Jul 2026 12:01:16 +0800 http://lamp-ir.com/th/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 20 Jul 2026 12:01:16 +0800 http://lamp-ir.com/th/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="เครื่องอบผงชิปเซ็นเซอร์ MEMS"></p> <h1 id="วธทำใหแผนเวเฟอร-mems-แหงโดยไมมสงสกปรกเกาะอย">วิธีทำให้แผ่นเวเฟอร์ MEMS แห้งโดยไม่มีสิ่งสกปรกเกาะอยู่</h1> <p>เมื่อคุณผลิตเซ็นเซอร์ MEMS สิ่งสุดท้ายที่คุณไม่อยากให้เกิดขึ้นก็คือฝุ่นหรือสารเคมีที่มาทำลายแผ่นเวเฟอร์ แต่การกำจัดความชื้นและสารละลายออกจากพื้นผิวเหล่านั้นนั้นเป็นเรื่องยาก</p> <p>เมื่อก่อน ผู้คนมักใช้เตาอบที่ใช้ลมเป่าเพื่อทำให้แผ่นเวเฟอร์แห้ง แต่ปัญหาก็คือเตาอบเหล่านี้ใช้พลังงานมาก และยังทำให้ฝุ่นเข้ามาอยู่ในบริเวณนั้นอีกด้วย ดังนั้นเราจึงหันมาใช้เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดความถี่สูงแทน โดยไม่ต้องใช้ลมเป่า จึงไม่มีฝุ่นเข้ามาได้เลย</p> <h2 id="หลกการทำงาน">หลักการทำงาน</h2> <p>ลองคิดง่ายๆ ว่า เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดไม่สนใจอากาศในห้องเลย แต่จะมุ่งเน้นไปที่โมเลกุลของน้ำและสารละลายแทน โฟตอนจะไปกระทบกับพื้นผิว ทำให้โมเลกุลเกิดการสั่นสะเทือน และของเหลวก็จะหายไปในทันที วิธีนี้ช่วยประหยัดพลังงานได้อย่างมาก เพราะคุณไม่จำเป็นต้องใช้พลังงานมหาศาลเพื่อทำให้กล่องโลหะขนาดใหญ่ร้อนขึ้น แต่คุณจะทำให้แผ่นเวเฟอร์ร้อนขึ้นเท่านั้น</p> <h2 id="ขอดของวธน">ข้อดีของวิธีนี้</h2> <p>อุตสาหกรรมกำลังเปลี่ยนมาใช้มาตรฐานที่ปลอดสารตะกั่ว และอินฟราเรดก็เป็นวิธีที่เหมาะสมมาก คุณไม่จำเป็นต้องใช้สารเคมีเพื่อให้แผ่นเวเฟอร์แห้งอีกต่อไป และไม่มีสาร VOC หลุดออกมาจากเครื่องทำความร้อนด้วย นอกจากนี้ ยังเป็นวิธีที่ใช้พลังงานอย่างมีประสิทธิภาพอีกด้วย</p> <h2 id="ขอเสยของวธน">ข้อเสียของวิธีนี้</h2> <p>อย่างไรก็ตาม หลอดอินฟราเรดความถี่สูงนั้นมีพลังงานสูงมาก ซึ่งดีสำหรับความเร็วในการทำให้แผ่นเวเฟอร์แห้ง แต่ก็อาจสร้างความเสียหายได้เช่นกัน หากคุณเปิดพลังงานอย่างรวดเร็ว อุณหภูมิที่สูงขึ้นอย่างกะทันหันอาจทำให้แผ่นเวเฟอร์เสียรูปได้ ดังนั้นคุณจึงจำเป็นต้องใช้ตัวควบคุม PID เพื่อควบคุมพลังงานที่ใช้</p> <p>นอกจากนี้ ตัวหลอดอินฟราเรดนั้นมีความเปราะบางมาก แค่การเคลื่อนย้ายอุปกรณ์อย่างไม่ระมัดระวังก็อาจทำให้หลอดแตกได้ ดังนั้นเราจึงออกแบบระบบนี้ให้สามารถนำมาใช้ร่วมกับระบบเดิมได้ คุณจะสามารถทำให้แผ่นเวเฟอร์แห้งได้เร็วขึ้น และกระบวนการก็จะสะอาดขึ้นด้วย แค่ต้องมั่นใจว่าระบบระบายความร้อนของคุณสามารถรับมือกับความร้อนที่เกิดขึ้นได้ก็พอแล้ว.</p>