Kvarts cam kalkanlarla lambalarınızdan daha fazla verim elde edin
Yarı iletken üretim tesislerindeki termal denge sorunlarından bahsedelim. Bu durum aslında enerji israfıyla mücadele gibi görünüyor.
Her şeyi kontrol altında tutabilmek için lampalarda kvarts cam kalkanlar kullanıyoruz. Amacımız, ısıtma elemanlarını waferin bulunduğu ortamdan uzak tutmaktır. Burada sadece temizliği sağlamak önemli değil; aynı zamanda kızılötesi ışınımı da uygun şekilde ayarlayarak gereksiz yere çok fazla enerji harcamadan istenen sıcaklıklara ulaşmak da önemlidir.
Enerji yoğunluğu konusunda püf noktaları
Bu kalkanlar için yüksek saflıkta füzyon silikası kullanıyoruz. Neden mi? Çünkü bu malzeme kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar için adeta şeffaf bir pencere gibidir. Böylece ısı, malzemeyi emmeden doğrudan geçebilir.
Yüksek güçlü lambalar kullanıldığında bu kalkanlar en iyi yardımcınızdır. Isıtma elemanlarının işlem gazlarına veya diğer parçacıklara temas etmesini engeller. Ayrıca, stabil bir termal bariyer sayesinde istenen sıcaklığa çok daha hızlı ulaşılır. Daha az beklemek, her wafer için daha az enerji kullanmak… Bu kadar basit.
Tozlarla başa çıkma
Bir üretim tesisinde küçük bir toz parçası bile felaket olabilir. İşte burada kvarts camın değeri ortaya çıkıyor. Aşırı sıcaklıkta bile bu malzeme bulanıklaşmaz. Eğer kalkan bulanıklaşırsa veya çatlarrsa, sıcak noktalar oluşur. Sıcak noktalar ise tam bir felaket oluşturur; wafer üzerinde eşit olmayan ısı dağılımına neden olur ve bu da atık ürünlerin ve gereksiz enerji harcamalarının artmasına yol açar. Donma ve kaynama arasındaki bu ani değişiklikleri sorunsuz bir şekilde karşılayabilecek bir malzemeye ihtiyacınız vardır.
Karbon konusunda genel bilgiler
“Yeşil” bir fabrika istiyorsak, her çip için harcanan enerjiye dikkat etmemiz gerekir. Kvarts cam kalkanlar, kızılötesi ışınların odaklanmasını sağlar. Odaklandığında daha az ısı ekipmanın içine sızar. Daha fazla ısı yüzeye gider ve soğutma suyuna daha az ısı geçer.
Sadece bir uyarı: Daha yüksek bir enerji yoğunluğu istiyorsanız, vakum contalarınızın ve soğutma sistemlerinizin bu duruma uygun olduğundan emin olun. Çok fazla ısıyı tek bir noktada topladığınız için donanımınızın buna hazır olması gerekir.