Waferlerin kirlenmesi sorununu ortadan kaldırmak Dürüst olalım: Yarı iletken işlemlerinde bir lambanın patlaması tam anlamıyla bir felaket demektir....

Üretim alanında, waferlerin kurutulması veya fotoresistlerin ısıtılması sırasında meydana gelen termal sapmalar, ciddi arızalara yol açmaz. Bunlar...