Як висушити пластини MEMS без створення бруду
Під час виготовлення датчиків MEMS останнє, що потрібно, – це те, щоб якийсь шматочок пилу чи хімічних речовин зіпсував пластину. Але прибрати вологу та розчинники з поверхні пластини є складним завданням.
Довгий час люди використовували печі з примусовим обдуванням повітрям. Проблема полягала у тому, що такі печі споживали багато енергії, а крім того, обдування повітрям лише сприяло потраплянню частинок пилу на поверхню пластини.
Саме тому ми перейшли на використання нагрівачів на короткохвильовому інфрачервоному випромінюванні. Замість нагрівання повітря ми використовуємо саме випромінювання. Немає ні вентиляторів, ні циркулюючого повітря, а отже, значно менше забруднень.
Як це функціонує
Уявіть собі таке: нагрівачі на інфрачервоному випромінюванні не турбуються про повітря в кімнаті. Вони безпосередньо впливають на молекули води та залишки розчинників. Фотони потрапляють на поверхню, змушуючи молекули вібрувати, а рідина просто зникає. Це відбувається майже миттєво. Ви не витрачаєте енергію на нагрівання всієї металевої конструкції – ви нагріваєте лише саму пластину. Це набагато ефективніший спосіб використання енергії.
„Екологічний“ аспект
Індустрія поступово переходить на безолов’яні та екологічні стандарти. Інфрачервоне випромінювання ідеально підходить для цього. Не потрібні жодні хімічні добавки, які використовуються у традиційних методах сушіння. З нагрівального елемента не виходять жодні шкідливі речовини. Це просто чиста енергія, яка передається від однієї точки до іншої.
Недоліки (Тому що ніщо не є ідеальним)
Однак є й недоліки. Нагрівачі на високій інтенсивності є дуже потужними – що чудово для прискорення процесу – але вони можуть бути надто агресивними. Якщо різко підвищити потужність, це може спричинити деформацію пластини. Щоб уникнути цього, потрібен ефективний контролер PID, який буде контролювати рівень потужності.
Ще одне застереження: кварцові корпуси нагрівачів є дуже крихкими. Одна неправильна дія під час заміни пристрою може призвести до його пошкодження.
Ми розробили ці системи так, щоб вони могли замінити ваші старі нагрівачі. Ви зможете швидше обробляти пластини, а процес буде значно чистішим. Тільки переконайтеся, що ваша система охолодження здатна справлятися з теплом, яке видають нагрівачі. І все буде гаразд.