http://lamp-ir.com/uk/tags/%D0%BB%D1%96%D1%82%D0%BE%D0%B3%D1%80%D0%B0%D1%84%D1%96%D1%8F/ Recent content in Літографія on Quality IR Heating Lamps Hugo uk Tue, 09 Jun 2026 04:03:44 +0800 http://lamp-ir.com/uk/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Tue, 09 Jun 2026 04:03:44 +0800 http://lamp-ir.com/uk/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Нагрівальний елемент попереднього випікання для літографії"></p> <p>На виробничій ділянці стабільність температури софт-бейку — це не просто побажання, а чітка межа між утриманням критичного розміру та перетворенням пластин у браку. Зміщення температури на 1,5°C виключає допустимий профіль фоторезисту, а будь-яке утворення часток під час випікання забруднює наступний шар. Ми спроектували нагрівальний елемент для софт-бейку у літографії так, щоб усунути ці відмови з самого початку.</p> <p>Серцем системи є галогенна лампа короткохвильового інфрачервоного діапазону (SWIR) у кварцовому ковпаку, що забезпечує швидке пряме теплове зв’язування безпосередньо із резистом. По всій зоні випікання однорідність на рівні пластини тримається в межах ±0,1°C, а температурний підйом стабілізується досить швидко, щоб не знімати час із циклу треку.</p>