فیبرک فلور پر، وہ ڈفیوژن فرنیچر لیمپ صرف ایک حرارتی ذریعہ ہی نہیں ہے؛ بلکہ یہ دراصل حرارتی سطح کو کنٹرول کرنے والا عنصر ہے۔ اگر نرم یا سخت بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں ایک ڈگری کی بھی غلطی ہو جائے، تو فوٹوریزسٹ کی خصوصیات میں تبدیلی آنا شروع ہو جاتی ہے، اور پیداواری عمل بھی متأثر ہوتا ہے۔ لہذا، ضروری ہے کہ حرارت مستقل، درست، اور تیز رفتار ہو۔
ہم نے جو ڈیزائن تیار کیا ہے:
ہم نے کوارٹز کے خول کے اندر نیئر-انفراریڈ (NIR) ہیلوجن عناصر استعمال کیے ہیں۔ اس سپیکٹرم کو سطحی حرارت پیدا کرنے کے لئے ترتیب دیا گیا ہے، تاکہ حرارت تیزی سے بڑھ سکے، اور سبسٹریٹ پر کوئی زیادہ دباؤ نہ پڑے۔ پورے بیچ میں، ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر ہی رہتا ہے۔ ردِعمل کی رفتار سیکنڈوں میں ہے، جس سے حرارت کو کنٹرول کرنا آسان ہو جاتا ہے۔ اس ڈیزائن کے باعث آپریشن کے دوران کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے، اور یہ کلین روم کلاس 1–100 میں بغیر کسی گیس کے استعمال کیا جا سکتا ہے۔ پاور ڈینسٹی فرنیچر کی خصوصیات کے مطابق ہے، اور 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے استعمال کے بعد بھی آؤٹ پٹ مستحکم رہتا ہے، اور اس میں 5% سے بھی کم کمی واقع ہوتی ہے۔
یہ ڈیزائن آپ کے کام کے لئے کیوں مناسب ہے؟
ڈفیوژن عمل میں یکسانیت بہت اہم ہے – ڈوپنگ، فلم کی تشکیل، پورا عمل۔ فوٹوریزسٹ پروسیسنگ میں بھی درجہ حرارت کی درستگی بہت ضروری ہے، تاکہ CD اور سائیڈ وال کا زاویہ درست رہے۔ یہ لیمپ دونوں چیزیں فراہم کرتا ہے۔ یکسانیت سے حرارتی دباؤ کم ہوتا ہے، نقائص کا خطرہ کم ہوتا ہے، اور عمل کا وقت کم ہو جاتا ہے۔ صاف ستھرا آپریشن سے ذرات کی تعداد کم رہتی ہے، جو ریٹیکل اور ویفر کے لئے بہت اہم ہے۔ تیز ردِعمل اور کم بیک اپ لاس سے توانائی کی کھپت کنٹرول میں رہتی ہے، اور طویل عمر سے مرمت کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔ نتیجہ یہ ہے کہ کنٹرول قابل پیشن گوئی ہوتا ہے، فضول مال کم ہوتا ہے، اور پیداوار مستحکم رہتی ہے۔
عملی تفصیلات جن پر توجہ دینا ضروری ہے:
انسٹالیشن کے لئے درست آپٹیکل الائنمنٹ اور ایسے فکسچرز ضروری ہیں جو حرارتی سطح کو متأثر نہ کریں۔ لیمپ اعلی پاور ڈینسٹی پر کام کرتا ہے، لہذا مناسب کولنگ اور صاف بجلی کی ضرورت ہے۔ لیمپ کو فرنیچر کنٹرولر کے PID پیرامیٹرز کے مطابق ہی استعمال کرنا چاہیے، تاکہ کوئی غلطی نہ ہو۔ تبدیلی کے بعد، مکمل استحکام حاصل کرنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے۔ پروسیس کو درست رکھنے کے لئے، مرمت کو گھنٹوں کے حساب سے منصوبہ بند کرنا ضروری ہے، نہ کہ خرابی کے بعد۔