Tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng bộ sưởi dựa trên công nghệ Carbon Nanotube trong quy trình sản xuất bán dẫn
Trong thời gian dài, chúng tôi vẫn sử dụng lò sấy kiểu đối lưu và đèn halogen để làm khô và xử lý các linh kiện bán dẫn. Những phương pháp này vẫn có hiệu quả, nhưng chúng khá cồng kềnh và tốn nhiều năng lượng. Với yêu cầu về việc giảm thiểu khí thải cùng xu hướng sử dụng các vật liệu không chứa chì, phương pháp cũ đã không còn phù hợp nữa.
Đó là lý do chúng tôi chuyển sang sử dụng bộ sưởi dựa trên công nghệ Carbon Nanotube. Thay vì lãng phí năng lượng để làm nóng toàn bộ không khí xung quanh, bộ sưởi này truyền nhiệt trực tiếp đến vị trí cần được xử lý. Phương pháp này vừa hiệu quả hơn, vừa nhanh hơn, và cũng tiết kiệm năng lượng hơn nữa.
Bí mật đằng sau hiệu quả của bộ sưởi này
Cơ chế hoạt động của bộ sưởi này như sau: Chúng tôi cho dòng điện chạy qua mạng lưới các ống nano carbon. Nếu bạn từng sử dụng các sợi kim loại để sưởi, bạn sẽ biết rằng chúng cần thời gian để nóng lên; chúng phải làm nóng toàn bộ vật liệu trước. Nhưng ống nano carbon thì không như vậy – chúng phản ứng ngay lập tức. Bạn chỉ cần bật công tắc, và nhiệt độ cần thiết sẽ được đạt ngay. Không cần phải chờ đợi nữa, điều này giúp tránh tình trạng khô không đều trên bề mặt wafer.
Chúng tôi cũng sử dụng thiết kế màng mỏng để đảm bảo nhiệt được phân bố đều trên bề mặt wafer. Như vậy, sẽ không có các điểm nóng, và các lớp silicon mỏng cũng không bị biến dạng. Hơn nữa, vì năng lượng được tập trung trong phổ hồng ngoại, nên nó sẽ thấm sâu vào lớp phủ trên bề mặt wafer. Không khí xung quanh vẫn giữ được nhiệt độ ổn định.
Tốt hơn cho Trái Đất và túi tiền của bạn
Phương pháp xử lý truyền thống rất tốn năng lượng. Bạn thường phải để lò sấy hoạt động suốt nhiều giờ để đảm bảo nó sẵn sàng sử dụng. Với công nghệ Carbon Nanotube, bạn chỉ cần bật máy khi cần, và tắt máy khi không cần. Khi so sánh lượng năng lượng tiêu thụ trên mỗi wafer, sự khác biệt là rất lớn.
Với tiêu chuẩn về việc sử dụng vật liệu không chứa chì, nhiệt độ xử lý phải được kiểm soát chính xác – quá nóng sẽ làm hỏng bề mặt wafer, còn quá lạnh thì sẽ gây ra các lỗ rỗng trên bề mặt wafer. Chúng tôi đã thiết kế các bộ sưởi này với hệ thống điều khiển có khả năng phản ứng trong vài miligiây. Nhờ đó, chất lượng xử lý wafer được đảm bảo một cách chính xác.
Một vài điều cần lưu ý
Đây không phải là thiết bị “cắm vào và sử dụng ngay”. Những bộ sưởi này tạo ra lượng nhiệt rất lớn trong một không gian nhỏ. Bạn cần đảm bảo rằng bộ phận vận chuyển wafer có thể chịu được mức năng lượng cao như vậy. Nếu tốc độ vận chuyển wafer quá chậm, các mép wafer sẽ bị khô quá mức. Bạn cần điều chỉnh tốc độ vận chuyển và công suất của bộ sưởi cho phù hợp. Một khi đã điều chỉnh xong, quy trình xử lý wafer sẽ diễn ra một cách ổn định.