Giới thiệu
Bạn có bao giờ cảm thấy mình phải chờ đợi một cách vô ích không? Khi quy trình xử lý diễn ra chậm chạp, hơi nóng sẽ cản trở tiến độ công việc. Vì vậy, chúng tôi đã tạo ra thiết bị giúp khắc phục vấn đề này – đó chính là bộ sưởi wafer tiết kiệm năng lượng.
Điều quan trọng nhất chính là tốc độ. Chúng tôi sử dụng công nghệ hồng ngoại tần số cao để truyền nhiệt trực tiếp lên bề mặt wafer, mà không cần làm cho toàn bộ buồng xử lý trở thành lò nướng.
Điểm mạnh của thiết bị này
Bộ sưởi này được thiết kế sao cho có độ chính xác cao và hoạt động ổn định. Nó hoạt động ở điện áp 400V, giúp tạo ra nguồn nhiệt lớn trong không gian nhỏ, mà không gây áp lực lên hệ thống điện. Nhờ đó, nhiệt độ có thể được duy trì ở mức ổn định ngay tại điểm sử dụng.
Chiều dài bộ phận sưởi 300mm là con số lý tưởng. Nó phù hợp với các dụng cụ xử lý thông thường, giúp việc lắp đặt trở nên dễ dàng hơn. Công suất của bộ sưởi được điều chỉnh sao cho tạo ra lượng nhiệt vừa đủ để đạt được kết quả tốt nhất. Bạn sẽ có được hiệu suất tương tự như khi sử dụng phương pháp RTP, nhưng không cần phải lo lắng về các vấn đề liên quan đến hệ thống làm mát phức tạp.
Cấu tạo chi tiết
Lõi của bộ sưởi được bọc trong lớp thạch anh, bên trong chứa halogen có độ tinh khiết cao. Sự kết hợp này giúp giữ nhiệt ổn định. Bộ sưởi vẫn duy trì được bức xạ hồng ngoại tần số cao, giúp silicon và các lớp màng mỏng hấp thụ nhiệt một cách hiệu quả. Bên trong, halogen giúp ngăn chặn sự suy giảm chất lượng của sợi dây tóc, giúp bộ sưởi hoạt động ổn định ngay cả sau nhiều lần nung nóng và làm nguội. Việc thay thế bóng đèn cũng rất dễ dàng nhờ vào đầu nối R7s. Bề mặt bên ngoài của bộ sưởi rất bền, có khả năng chống lại các tác động nhiệt và ô nhiễm, giúp duy trì độ ổn định của bức xạ nhiệt và giảm chi phí bảo trì.
Ý nghĩa đối với bạn
Trong quy trình xử lý phức tạp, thời gian chính là yếu tố then chốt. Và công nghệ hồng ngoại giúp tiết kiệm thời gian. Vì bộ sưởi làm nóng trực tiếp wafer, nên bạn không cần phải chờ đợi toàn bộ buồng xử lý được làm nóng. Nhiệt độ có thể được điều chỉnh một cách nhanh chóng, và độ đồng đều của nhiệt độ cũng được đảm bảo. Bạn cũng sẽ tiêu thụ ít năng lượng hơn cho mỗi lần xử lý. Đây chính là giải pháp tuyệt vời nếu bạn muốn tăng năng suất mà không cần chiếm thêm diện tích.
Lưu ý: Do mật độ nhiệt cao, hệ thống làm mát và bảo vệ cần phải đáp ứng được yêu cầu. Nếu chúng không đủ mạnh, bạn sẽ gặp phải tình trạng nhiệt độ cao ở một số vị trí. Tuy nhiên, nếu bạn chọn bóng đèn phù hợp với khả năng làm mát của hệ thống, bạn sẽ có được quy trình xử lý ổn định hơn, với ít sản phẩm lỗi hơn.