Cảm biến nhiệt độ dành cho dụng cụ xử lý wafer

Trong quy trình sản xuất, việc có sự chênh lệch nhiệt độ chỉ 0,5 độ trên bề mặt nung cũng có thể gây ra nhiều vấn đề. Quy trình nung mềm và nung cứng...