http://lamp-ir.com/vi/tags/mems/ Recent content in MEMS on Quality IR Heating Lamps Hugo vi Mon, 20 Jul 2026 12:01:16 +0800 http://lamp-ir.com/vi/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 20 Jul 2026 12:01:16 +0800 http://lamp-ir.com/vi/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Máy sấy wafer cảm biến MEMS"></p> <p><strong>Làm thế nào để làm khô các tấm wafer MEMS mà không gây ra bụi bẩn?</strong><br> Khi chế tạo các cảm biến MEMS, điều cuối cùng mà chúng ta muốn tránh chính là sự xuất hiện của bụi bẩn hoặc các chất hóa học gây hại cho tấm wafer. Nhưng việc loại bỏ độ ẩm và các chất lỏng dính trên bề mặt tấm wafer lại rất khó khăn.</p> <p>Trong thời gian dài, người ta chỉ sử dụng lò sấy hoạt động bằng không khí. Vấn đề là những lò này tiêu tốn rất nhiều năng lượng, và chúng phụ thuộc vào việc thổi không khí xung quanh. Trong môi trường sạch, việc thổi không khí chỉ khiến các hạt bụi có cơ hội xâm nhập vào bên trong tấm wafer.</p>