http://lamp-ir.com/vi/tags/n%C6%B0%E1%BB%9Bng/ Recent content in Nướng on Quality IR Heating Lamps Hugo vi Tue, 09 Jun 2026 04:03:44 +0800 http://lamp-ir.com/vi/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Tue, 09 Jun 2026 04:03:44 +0800 http://lamp-ir.com/vi/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Phần tử gia nhiệt nướng mềm lithography"></p> <p>Trên sàn sản xuất, độ ổn định nhiệt độ soft bake không phải là sở thích mà là ranh giới phân biệt giữa việc giữ được kích thước quan trọng và việc phải loại bỏ wafer thành phế phẩm. Sai lệch 1,5°C làm mất đi biên độ hồ sơ của lớp photoresist, và bất kỳ sự sinh hạt nào trong quá trình nướng sẽ làm nhiễm bẩn lớp kế tiếp. Chúng tôi thiết kế bộ phận gia nhiệt soft bake trong quá trình khắc tia để loại bỏ các nguyên nhân gây lỗi này ngay từ gốc.</p>