晶圆加热的技术支持

在晶圆加工车间里，情况其实很复杂。哪怕温度只有半度的微小变化，都可能影响到晶圆的加工效果。如果对晶圆边缘进行过高的加热处理，那么原本符合标准的晶圆也会变成废品。因此，晶圆加热系统必须具备出色的热控制能力——不能有任何疏忽，必须确保精确的温度控制，同时保持洁净室的稳定环境。 关键在于如何实现精确的控...