الانتقال من استخدام الهواء المضغوط إلى استخدام أضواء الأشعة تحت الحمراء الخالية من الأوزون في عمليات معالجة الأشباه الموصلات
إذا كنت لا تزال تستخدم الهواء الساخن في عمليات معالجة الأشباه الموصلات، فمن المحتمل أنك تضيع وقتًا طويلاً في الانتظار.
الانتقال إلى استخدام أضواء الأشعة تحت الحمراء الخالية من الأوزون لا يعني فقط الحصول على نوع مختلف من الحرارة، بل يعني أيضًا التخلص من وقت الانتظار الطويل.
مشكلة الانتظار
فكر في كيفية عمل الهواء المضغوط: يجب تسخين الهواء أولاً، ثم يجب على هذا الهواء أن يسخن الجزء المراد معالجته. إنها عملية تحتاج إلى وقت طويل. أما أضواء الأشعة تحت الحمراء، فهي تختصر هذه العملية، حيث تنتقل الطاقة مباشرة من اللمبة إلى الجزء المراد معالجته. هذا يعني أن وقت الاستعداد يقل من دقائق إلى ثوانٍ فقط.
مشكلة الأوزون
المشكلة هنا هي أن معظم أضواء الأشعة تحت الحمراء التقليدية تصدر إشعاعًا في نطاق 185 نانومتر، وهو ما يؤدي إلى تكوين الأوزون. في الغرف النظيفة، الأوزون يشكل مشكلة كبيرة، لأنه يدمر الأجزاء الحساسة ويسبب تأكسدًا في الأجزاء التي يجب أن تظل نقية. لحل هذه المشكلة، نستخدم فلاتر خاصة وغلافات من الكوارتز. بهذه الطريقة، نحصل على حرارة عالية، دون وجود أي مشاكل كيميائية.
التركيب الصحيح
لا يمكنك ببساطة توصيل هذه الأضواء والانتهاء من الأمر. هذه الأضواء تحتاج إلى طاقة كبيرة، لذا يجب أن يكون تنظيم الجهد دقيقًا، وإلا فإن الأنابيب ستتلف بسرعة.
وهناك تحذير مهم: هذه الأضواء تصبح ساخنة جدًا. إذا كنت تريد الحصول على أقصى درجة حرارة، فلا تستخدم مواد رخيصة لتثبيت الأضواء، لأنها قد تتشوه. يجب استخدام مواد خزفية عالية الجودة لضمان استمرار عمل الأضواء.
العيوب
لا شيء مثالي. أضواء الأشعة تحت الحمراء سريعة جدًا، لكنها تعمل في اتجاه واحد فقط. على عكس الهواء الساخن، الذي يغطي الجزء المراد معالجته، فإن أضواء الأشعة تحت الحمراء تسخن فقط الأجزاء التي يمكنها “رؤيتها”. إذا كانت الأجزاء ذات أشكال غريبة أو بها زوايا صعبة، فسوف توجد مناطق باردة في الجزء المراد معالجته.
سيتعين عليك قضاء بعض الوقت في تنظيم توزيع الضوء على الجزء المراد معالجته، أو استخدام مرايا لتوزيع الضوء بشكل أفضل. يتطلب الأمر بعض التعديلات، لكن بمجرد أن يصبح توزيع الضوء متساويًا، فإن السرعة تستحق كل ثانية من الجهد المبذول.