ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেসিস্ট বেক করার সময় ০.১°C এরও কম তাপমাত্রার পরিবর্তনই যথেষ্ট হয়ে যায় ৩০০ মিমি আকারের ওয়েফারগুলোকে নষ্ট করার জন্য। এই ধরনের পরিবর্তন ঘটার আগেই এটা থামানোর জন্যই ইন্টারপোজার হিটিং ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো ব্যবহৃত হয়।
এর প্রযুক্তিগত ব্যবস্থা হলো: এই ল্যাম্পগুলোতে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার রয়েছে; ফলে দ্রুত ও স্থানীয়ভাবে তাপ সরবরাহ করা যায়। ইন্টারপোজারের পৃষ্ঠে তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; আর তাপমাত্রার পুনরাবৃত্তি নির্দিষ্ট সীমার মধ্যেই থাকে। ল্যাম্পটির তরঙ্গদৈর্ঘ্য ফটোরেসিস্টের অবশোষণের জন্য সামঞ্জস্যপূর্ণভাবে সেট করা থাকে; ফলে শক্তি ঠিক সেখানেই প্রয়োগ হয়—অর্থাৎ ফিল্মের মধ্যেই। এটা ২৪/৭ ঘন্টা কাজ করে; কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন করে না; আর ক্লাস ১ থেকে ক্লাস ১০০ পর্যন্ত সব ধরনের পরিবেশেই কাজ করতে পারে।
লিথোগ্রাফিতে, আমরা জানি যে ‘সফ্ট বেক’ প্রক্রিয়ায় দ্রাবকগুলো বেরিয়ে যায় এবং ফটোরেসিস্টের গঠন নির্ধারিত হয়। ‘হার্ড বেক’ প্রক্রিয়ায় ইটিং করার আগে প্যাটার্নটি স্থির থাকে। উভয় প্রক্রিয়ার জন্যই স্থিতিশীল ও সমান তাপমাত্রা প্রয়োজন। এই ল্যাম্পটি ইন্টারপোজারের তাপমাত্রাকে স্থিতিশীল রাখে; ফলে লাইনের পুরুত্বে কোনো পরিবর্তন ঘটে না, আর ডেভেলপ করার পর কোনো ধরনের অশুদ্ধি দেখা দেয় না।
ফলাফল কী? উৎপাদন বৃদ্ধি, পুনর্কাজের পরিমাণ কমে যায়, আর CD নিয়ন্ত্রণও সঠিকভাবে হয়। এছাড়া, শক্তি ব্যবহারও কমে যায়; কারণ ল্যাম্পটি শুধুমাত্র নির্দিষ্ট অঞ্চলটিকেই উত্তপ্ত করে, পুরো হট প্লেটকে নয়।
কয়েকটি ব্যবহারিক বিষয়: ইনস্টলেশনের সময় সাবধানীভাবে অপটিক্যাল অ্যালাইনমেন্ট করতে হয়; আর ক্লিনরুম-স্ট্যান্ডার্ড মানদণ্ড অনুসরণ করেই ল্যাম্পটি স্থাপন করতে হয়। আউটপুট ইনটেনসিটি নির্দিষ্ট ইন্টারপোজার স্ট্যাকের জন্য ক্যালিব্রেট করা থাকে; তাই যদি স্ট্যাকটি পরিবর্তিত হয়, তাহলে সেটপয়েন্ট প্রোফাইলটিকে দ্রুত সামঞ্জস্য করতে হয়।
প্রাথমিক ইন্টিগ্রেশনের সময় লিথোগ্রাফি ক্লাস্টার ও থার্মাল কন্ট্রোলারের ইন্টারফেসগুলো আগেই পরিকল্পনা করে রাখা উচিত। একবার এগুলো সামঞ্জস্যপূর্ণ হয়ে গেলে, প্রক্রিয়াটি সঠিকভাবে চলতে থাকে।